LL-HS-DS 热式气体质量流量控制器
一、产品简介：
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺 设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
二、主要技术指标：
1
量程范围
（0～500,1000,1500,2000,2500,3000...）SLM
2
准 确 度
±0.5%F.S/±1.0%F.S
3
线 性
±0.5%F.S
4
重复精度
±0.2%F.S
5
响应时间
电特性：1sec 气特性：（1～4）sec
6
工作压差
0.02～1.0Mpa
7
耐 压
3Mpa,10Mpa
8
工作环境温度
0～50℃
9
数 字 量
RS485/232 MODBUS 协议
10
模 拟 量
DC 0～5V ，1～5V，4～20mA 可选
11
供 电
DC ±15V/24V 可选，电源功率≥20W
12
电气连接
DB15 针
13
漏 率
1×10-9SCCSHe
14
底座材质
316L 不锈钢
15
密封材质
氟橡胶，聚四氟乙烯，丁晴橡胶
16
气路接头
3/4〞，Φ20，Φ25，法兰连接
注意：
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定。
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)。
标准状态规定为：
温度-----298.15K (25℃);
气压-----101325 Pa （760mmHg）
F. S (Full Scale); 满量程值
三、工作原理：
LL-HS/DS 系列气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的 传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度 及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测 量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的 原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金 RTD 丝缠绕在坚固 的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。
四、一般异常情况判断和处理：
现象
可能原因
处理方法
开机后无气体流过
气源未开, 气路不通
接通气源， 开通气路
没有设定目标流量
参照操作详解 3.3.1
过滤器堵塞
更换过滤器
调节阀故障
检查阀线圈是否断开，清洗调节阀
电路故障
维修电路
零点偏差
参照操作详解 3.3.6
流量控制不稳定
传感器故障
更换传感器
电路故障
维修电路
阀门污染
清洗阀门，更换密封件
气源压强太低或不稳
提高气源气压，稳定气源压强
在 阀 门 关 闭 的 情 况下，仍有较大的流量流过
调节阀故障
重新调整调节阀
入口气压过高
降低入口气压
通道堵塞
清洗 MFC 通道
流量显示不能达到满量程值
设定目标流量低于满量程
检查设定值
其它电路故障
维修电路
不通气时零点不稳定
电路故障
维修电路
传感器故障
更换传感器
