内容提要：
热式质量流量计利用传热原理检测流量的仪表，即利用流动中的流体与热源之间热量交换关系来测量流量的仪表。 ……
本文关键字：热式质量流量计
热式质量流量计利用传热原理检测流量的仪表，即利用流动中的流体与热源之间热量交换关系来测量流量的仪表。
热式质量流量计基本原理：通过测量气体流经流量计内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为加热器，另一个作为温度检测。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。
热式质量流量计可以使用在气体色谱仪和气体分析仪等分析仪器上，用于监控取样气体量。其使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等多种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，以及固体致冷中固体氩蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。
以上简单为大家介绍了热式质量流量计的工作原理以及所使用的环境。希望小编所介绍的知识点能够帮助大家了解这个仪表，若有其他想法可以联系我们。
