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LL10-HS/DS 热式气体质量流量控制器

LL10-HS/DS 热式气体质量流量控制器

概述:
       质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺 设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
       LL10-HS/DS 系列流量计使用一个带背光的点阵液晶显示器,直观清晰的显示出多种 有用的流量数据,包括:瞬时流量、累计流量和温度等。LL10-HS/DS 具有不同的显示画面,它取决于订货的型号,如流量计或控制器、电流输出或电压输出等。整个 LL10-HS/DS 系列具有统一的主显示画面、气体选择画面(特定气体时本画面可能无效)、校准画面、设备信息等。

 
工作原理:
       LL10-HS/DS 系列气体质量流量控制器传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器,能自动校正温度 及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测 量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的 原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器(RTD)。白金 RTD 丝缠绕在坚固 的陶瓷芯轴上,整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。

技术指标:
1 量程范围 (0~500,1000,1500,2000,2500,3000...)SLM
2 准 确 度 ±0.5%F.S/±1.0%F.S
3 线    性 ±0.5%F.S
4 重复精度 ±0.2%F.S
5 响应时间 电特性:1sec 气特性:(1~4)sec
6 工作压差 0.02~1.0Mpa
7 耐    压 3Mpa,10Mpa
8 工作环境温度 0~50℃
9 数 字 量 RS485/232 MODBUS 协议
10 模 拟 量 DC 0~5V ,1~5V,4~20mA 可选
11 供    电 DC ±15V/24V 可选,电源功率≥20W
12 电气连接 DB15 针
13 漏    率 1×10-9SCCSHe
14 底座材质 316L 不锈钢
15 密封材质 氟橡胶,聚四氟乙烯,丁晴橡胶
16 气路接头 3/4〞,Φ20,Φ25,法兰连接

注意:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N?)标定。
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)。
标准状态规定为:
温度-----298.15K (25℃);
气压-----101325 Pa (760mmHg)
F. S (Full Scale); 满量程值
 
一般异常情况判断和处理:
现象 可能原因 处理方法
开机后无气体流过 气源未开, 气路不通 接通气源, 开通气路
没有设定目标流量 参照操作详解 3.3.1
过滤器堵塞 换过滤器
调节阀故障 检查阀线圈是否断开,清洗调节阀
电路故障 维修电路
零点偏差 参照操作详解 3.3.6
流量控制不稳定 传感器故障 换传感器
电路故障 维修电路
阀门污染 清洗阀门,换密封件
气源压强太低或不稳 提高气源气压,稳定气源压强
在 阀 门 关 闭 的 情 况 ,仍有较大的流量 流过 调节阀故障 重新调整调节阀
入口气压过高 降低入口气压
通道堵塞 清洗 MFC 通道
流量显示不能达到满量程值 设定目标流量低于满量程 检查设定值
其它电路故障 维修电路
不通气时零点不稳定 电路故障 维修电路
传感器故障 换传感器
 


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