热式气体流量计的测量探头有两个传感器：一个是温度传感器，一个是速度传感器，两个传感器都是基准级铂电阻传感器。铂电阻固定在密封、坚固的不锈钢套管中，在测量电路中它们也作为测量桥路的两个臂，温度传感器在工作中测量被测气体的温度，它作为参比温度，而速度传感器被加热，并使其被加热的温度和参比温度有一固定的温差，当参比温度变化，则温差也随着变化，可以通过加热功率的变化来测量气体的质量流量。

　　热式气体流量计具有如下技术优势：

　　传感器无活动部件和压感部件，不受震动对测量精度的影响，使用寿命长，抗震性能好；

　　安装维护简便。在现场条件允许的情况下，可实现不停产安装和维护；

　　数字化设计。整机数字化电路测量，维护方便、测量准确；

　　真正的质量流量计，对气体流量测量无需温度和压力补偿，可得气体的标准体积流量或质量流量，且测量准确、方便；

　　较大的量程比。可测量流速低到0.5nm/s和高到100nm/s的气体，可用于气体检漏。