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LL-HS-DS 热式气体质量流量控制器

LL-HS-DS 热式气体质量流量控制器

一、产品简介:

       质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺 设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

二、主要技术指标:

1量程范围                (0~500,1000,1500,2000,2500,3000...)SLM
2准 确 度                ±0.5%F.S/±1.0%F.S
3线                    ±0.5%F.S
4重复精度                ±0.2%F.S
5响应时间                电特性:1sec 气特性:(1~4)sec
6工作压差                0.02~1.0Mpa
7                    3Mpa,10Mpa
8工作环境温度                0~50℃
9数 字 量                RS485/232 MODBUS 协议
10模 拟 量                DC 0~5V ,1~5V,4~20mA 可选
11                    DC ±15V/24V 可选,电源功率≥20W
12电气连接                DB15 针
13                    1×10-9SCCSHe
14底座材质                316L 不锈钢
15密封材质                氟橡胶,聚四氟乙烯,丁晴橡胶
16气路接头                3/4〞,φ20,φ25,法兰连接




注意
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N?)标定。
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)。
标准状态规定为:
温度-----298.15K (25℃);
气压-----101325 Pa (760mmHg)
F. S (Full Scale); 满量程值

三、工作原理:

LL-HS/DS 系列气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的 传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器,能自动校正温度 及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测 量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的 原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器(RTD)。白金 RTD 丝缠绕在坚固 的陶瓷芯轴上,牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。

四、一般异常情况判断和处理:

现象可能原因处理方法
                开机后无气体流过                气源未开, 气路不通                接通气源, 开通气路
                没有设定目标流量                参照操作详解 3.3.1
                过滤器堵塞                更换过滤器
                调节阀故障                检查阀线圈是否断开,清洗调节阀
                电路故障                维修电路
                零点偏差                参照操作详解 3.3.6
                流量控制不稳定                传感器故障                更换传感器
                电路故障                维修电路
                阀门污染                清洗阀门,更换密封件
                气源压强太低或不稳                提高气源气压,稳定气源压强
                在 阀 门 关 闭 的 情 况下,仍有较大的流量流过                调节阀故障                重新调整调节阀
                入口气压过高                降低入口气压
                通道堵塞                清洗 MFC 通道
                流量显示不能达到满量程值                设定目标流量低于满量程                检查设定值
                其它电路故障                维修电路
                不通气时零点不稳定                电路故障                维修电路
                传感器故障                更换传感器

     


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