LL-HS-DS 热式气体质量流量控制器

一、产品简介：

       质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺 设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

二、主要技术指标：

注意：
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N?)标定。
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)。
标准状态规定为：
温度-----298.15K (25℃);
气压-----101325 Pa （760mmHg）
F. S (Full Scale); 满量程值

三、工作原理：

LL-HS/DS 系列气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的 传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度 及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测 量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的 原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金 RTD 丝缠绕在坚固 的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。

四、一般异常情况判断和处理：